下载一种激光跟随式位置检测系统及方法的技术资料

文档序号:33444730

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本发明提供一种激光跟随式位置检测系统,包括:跟随致动装置、激光测距传感器、光栅尺、光栅读数头,所述光栅尺与所述跟随致动装置平行布置;所述激光测距传感器和光栅读数头设置在所述跟随致动装置上,并通过所述跟随致动装置的致动进行直线往复运动;所述激...
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