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MEMS元件具备：基座；绝缘层，其固定于基座的一面；第一上层，其至少一部分固定于绝缘层；以及第二上层，其以包围第一上层的周围的方式设置，且通过狭缝与第一上层分离地配置，第一上层在预定的部分具有向第二上层侧突出的突出部。出部。出部。
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该专利属于株式会社鹭宫制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社鹭宫制作所授权不得商用。

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