MEMS元件以及振动发电器件制造技术

MEMS元件具备：基座；绝缘层，其固定于基座的一面；第一上层，其至少一部分固定于绝缘层；以及第二上层，其以包围第一上层的周围的方式设置，且通过狭缝与第一上层分离地配置，第一上层在预定的部分具有向第二上层侧突出的突出部。出部。出部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】MEMS元件以及振动发电器件


[0001]本专利技术涉及MEMS元件以及振动发电器件。

技术介绍

[0002]已知一种MEMS元件，其使用SOI(Silicon On Insulator：绝缘体上硅)基板，在形成于硅基板上的氧化硅层等绝缘层上形成具有固定梳齿的固定部及具有可动梳齿的可动部。固定部及可动部分别至少一部分固定于绝缘层。在固定部形成有与电极端子连接的引线部。也有在包含引线部的固定部的周围形成外周固定图案的结构。
[0003]固定部、可动部以及外周固定图案通过由蚀刻形成的窄幅的狭缝而被分离，并电绝缘。在通过蚀刻形成狭缝时，固定于绝缘层的固定部位被底切，因此，例如在如引线部等那样固定部位的宽度窄的部位，接合强度不足，从绝缘层浮起，或者因轻微的冲击固定部位破损。
[0004]因此，需要应对因底切而导致的绝缘层的强度降低。
[0005]虽然并不对应于引线部，而是涉及固定部与可动部之间的狭缝的形成方法，但已知有如下方法：在形成狭缝之后，在固定部的侧面形成保护膜，去除绝缘层。由此，防止固定部下的绝缘层的底切，确保固定部下的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种MEMS元件，其特征在于，具备：基座；绝缘层，其固定于所述基座的一面；第一上层，其至少一部分固定于所述绝缘层；以及第二上层，其以包围所述第一上层的周围的方式设置，且通过狭缝与第一上层分离地配置，所述第一上层在预定的部分具有向所述第二上层侧突出的突出部，所述突出部固定于所述绝缘层。2.根据权利要求1所述的MEMS元件，其特征在于，所述第一上层包括引线部，所述突出部设置于所述引线部。3.根据权利要求1或2所述的MEMS元件，其特征在于，与所述狭缝对应的区域的所述绝缘层被去除，所述基座在所述绝缘层的厚度方向上从与所述狭缝对应的区域的至少一部分露出。4.根据权利要求1至3中任一项所述的MEMS元件，其特征在于，所述第二上层固定于...

【专利技术属性】
技术研发人员：芦泽久幸，下村典子，
申请(专利权)人：株式会社鹭宫制作所，
类型：发明
国别省市：