下载一种提高MEMS同轴器件性能的封装结构的技术资料

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本实用新型公开了一种提高MEMS同轴器件性能的封装结构,包括同轴设置的光纤组件、玻璃管、准直透镜、金属管和TO组件。光纤组件与准直透镜相连,光纤组件的插针和准直透镜位于玻璃管内,玻璃管和TO组件外套设有金属管。TO组件的管帽端形成有圆柱状外...
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