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成像型X射线显微镜制造技术
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下载成像型X射线显微镜的技术资料
文档序号:33433019
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本发明提供一种成像型X射线显微镜,即使是高能量的X射线也能够增大数值孔径,即使在实验室内也能够以足够的强度得到放大像。具备:包含微焦点且高输出的X射线源(120)和将辐射的X射线向样品聚光照射的聚光镜(130)的X射线照射部;保持样品的样品...
该专利属于株式会社理学所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社理学授权不得商用。
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