成像型X射线显微镜制造技术

本发明专利技术提供一种成像型X射线显微镜，即使是高能量的X射线也能够增大数值孔径，即使在实验室内也能够以足够的强度得到放大像。具备：包含微焦点且高输出的X射线源(120)和将辐射的X射线向样品聚光照射的聚光镜(130)的X射线照射部；保持样品的样品保持部；将透过了样品的X射线成像的反射镜型X射线镜头部(150)；以及取得所成像的X射线像的摄像部(190)，构成聚光镜(130)以及反射镜型X射线镜头部(150)的各镜具有形成有对特定波长的X射线具有高的反射率的多层膜的反射面。射率的多层膜的反射面。射率的多层膜的反射面。

【技术实现步骤摘要】
成像型X射线显微镜


[0001]本专利技术涉及用于实验室中大幅提高成像X射线显微镜的性能的技术。

技术介绍

[0002]在现有的成像型X射线显微镜中，大多对成像系统使用菲涅尔波带板镜头(FZP)(例如，参照专利文献1)。但是，在将FZP应用到高能量X射线的情况下，很难增大纵横比，衍射效率会显著降低。例如，在用FZP使15keV以上的X射线成像的情况下，效率成为数％以下。此外，该情况下的数值孔径(NA)也为1mrad以下，非常小。因此，在实验室中，很难实现使用高能量X射线的高分辨率X射线显微镜。
[0003]相对于此，作为能够搬入到室内的尺寸的X射线显微镜，正在开发使用了Kirkpatrick
‑
Baez镜(KB镜)的显微镜(例如，参照专利文献2)。专利文献2记载的X射线显微镜使用具有反射凹面的KB镜和具有反射凸面的KB镜来构成成像系统。其结果，可在保持放大倍率的同时缩短光学系统的后侧焦距。
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：美国专利第7394890号说明书
[0006]专利文献2：J本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种成像型X射线显微镜，其特征在于，具备：包括微焦点且高输出的X射线源和将所辐射的X射线向样品聚光照射的聚光镜的X射线照射部；保持所述样品的样品保持部；将透过了所述样品的X射线成像的反射镜型X射线镜头部；以及取得所成像的所述X射线像的摄像部，构成所述聚光镜以及反射镜型X射线镜头部的各镜具有形成有对特定波长的X射线具有高的反射率的多层膜的反射面。2.根据权利要求1所述的成像型X射线显微镜，其特征在于，所述X射线源以100μm以下的焦点尺寸产生X射线，所述聚光镜将所产生的所述X射线聚光到100μm以下的照射区域。3.根据权利要求1所述的成像型X射线显微镜，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：表和彦，广濑雷太，加藤秀一，尤里，
申请(专利权)人：株式会社理学，
类型：发明
国别省市：