温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
发明公开了一种连接线结构及其形成方法,该连接线结构包括钝化层、金属层和保护层,所述金属层设置在所述钝化层上,所述保护层设置在所述金属层上。在本发明中,可以采用单层布线简单设计,也可采用多层立体布线设计实现高速率传输;MEMS工艺允许连接线呈...该专利属于武汉衷华脑机融合科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉衷华脑机融合科技发展有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
发明公开了一种连接线结构及其形成方法,该连接线结构包括钝化层、金属层和保护层,所述金属层设置在所述钝化层上,所述保护层设置在所述金属层上。在本发明中,可以采用单层布线简单设计,也可采用多层立体布线设计实现高速率传输;MEMS工艺允许连接线呈...