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本实用新型公开了一种原位退火可控的碳化硅单晶生长装置，属于晶体制备技术领域；包括真空炉，真空炉包括真空腔体和腔体外部的加热装置，真空炉连接有送风管道和排风管道，排风管道通过风机与风冷换热装置的进风口相连接，送风管道与风冷换热装置的出风口相连...
该专利属于山西烁科晶体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山西烁科晶体有限公司授权不得商用。

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