下载沉积用坩埚的技术资料

文档序号:33425728

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

根据本实施例的沉积用坩埚包括:放置沉积材料的圆柱形下主体;从所述下主体的顶部延伸的上主体,其中所述沉积材料在所述上主体中被蒸发;以及多个凹窝,所述多个凹窝形成在所述下主体的内部底表面上,并且以环形的方式形成有与所述下主体的中心一致的中心。有...
该专利属于LG电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过LG电子株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。