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沉积用坩埚制造技术
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下载沉积用坩埚的技术资料
文档序号:33425728
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根据本实施例的沉积用坩埚包括:放置沉积材料的圆柱形下主体;从所述下主体的顶部延伸的上主体,其中所述沉积材料在所述上主体中被蒸发;以及多个凹窝,所述多个凹窝形成在所述下主体的内部底表面上,并且以环形的方式形成有与所述下主体的中心一致的中心。有...
该专利属于LG电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过LG电子株式会社授权不得商用。
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