下载一种减少位错缺陷及多晶占比的铸造晶硅制备方法的技术资料

文档序号:33419510

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本发明公开了一种减少位错缺陷及多晶占比的铸造晶硅制备方法,方法如下:直拉单晶圆棒去除边皮后得到无圆角的单晶方棒;垂直晶硅生长方向将单晶方棒切割成大籽晶块;所述单晶方棒或边皮切割成小籽晶块;将所述大、小籽晶块铺设在坩埚底部,形成完整的籽晶层;...
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