下载一种具有可变生长空间的晶体生长装置的技术资料

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一种具有可变生长空间的晶体生长装置,属于单晶制备领域,具体涉及晶体生长装置,特别涉及在晶体生长过程中根据晶体尺寸动态控制生长空间的晶体生长装置。包括主体立柱,设置在主体立柱之间的主炉体,主炉体内部有坩埚及坩埚加热、支撑结构,坩埚上方有籽晶杆...
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