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本实用新型公开了一种光刻机能量控制通讯故障的维护用的防护装置，包括光刻机本体，所述光刻机本体的两侧均设置有稳定柱，所述稳定柱内腔的底部通过轴承活动连接有活动柱，所述稳定柱正面的下端固定连接有固定板，所述固定板的顶部固定连接有固定柱，所述固定...
该专利属于南京尹特利微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京尹特利微电子科技有限公司授权不得商用。

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