温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种用于异质结电池的镀膜设备,其中，包括形成有反应腔的壳体、设于反应腔内用于承载并输送半成品电池的输送单元、用于承载靶材的靶材承载件，所述反应腔包括依次排列且连通的第一反应腔、第二反应腔，所述输送单元贯穿第一反应腔和第二反应腔...
该专利属于嘉兴阿特斯技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴阿特斯技术研究院有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。