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一种碳化硅肖特基二极管的结构、制造方法及电力电子设备,属于半导体技术领域,通过包括外延层和肖特基金属层;外延层上设有依次排列的多个P型区;在外延层上表面沉积有肖特基金属层;P型区为亚微米级;由于P型区为亚微米级,故在较小的元胞尺寸范围内增加...该专利属于深圳芯能半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳芯能半导体技术有限公司授权不得商用。
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一种碳化硅肖特基二极管的结构、制造方法及电力电子设备,属于半导体技术领域,通过包括外延层和肖特基金属层;外延层上设有依次排列的多个P型区;在外延层上表面沉积有肖特基金属层;P型区为亚微米级;由于P型区为亚微米级,故在较小的元胞尺寸范围内增加...