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本实用新型涉及太阳能电池生产领域，一种提升PECVD镀膜均匀性的装置，该装置安装在PECVD的炉管的口部内侧，包括双层管状结构、加强板，双层管状结构的夹层两端面密封，双层管状结构一端夹层密封面上有小孔，加强板有3
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该专利属于山西潞安太阳能科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过山西潞安太阳能科技有限责任公司授权不得商用。

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