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本实用新型涉及单晶硅加工技术领域，且公开了一种适用于温差变幅大的单晶硅片，包括蓄液框，蓄液框中固定有垫块，垫块上表面等距地固定有分隔条，所述蓄液框、垫块及分隔条形成的储液空间中存蓄有冷却水。本实用新型在使用时向蓄液框、垫块及分隔条形成的储液...
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