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本实用新型公开了薄膜方阻测量装置，包括压夹探头组件，压夹探头组件包括两个压夹探头结构，两个压夹探头结构之间形成有检测空间；其中一个压夹探头结构设置为第一压夹探头、另一压夹探头结构设置为第二压夹探头，第一压夹探头设置于第二压夹探头的上方；探头...
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