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本发明公开了一种预埋牺牲层的谐振器及其制备方法，包括：在衬底层的上表面形成凹槽，凹槽中填有牺牲层，牺牲层上表面有电极层，电极层之间及其周围由键合层填充，最上层是压电层。其中压电层通过键合技术和离子注入技术，转移至带图形化电极的衬底上，并采用...
该专利属于宁波华彰企业管理合伙企业（有限合伙）所有，仅供学习研究参考，未经过宁波华彰企业管理合伙企业（有限合伙）授权不得商用。

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