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本实用新型提供一种具有烘干效果的硅片清洗装置，属于硅片清洗技术领域，包括清洗舱，清洗舱内安装有清洗池，清洗池内储存有清洗液，清洗池的上侧设置有下置盒、上置盒和U形架，上置盒的一侧通过铰轴活动连接于下置盒，U形架位于上置盒的上侧，U形架上设置...
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