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本实用新型公开了一种集成电路生产用具有托板清理结构的蚀刻机，包括：底座，所述底座的顶端安装有蚀刻箱，且蚀刻箱的正面安装有箱门，并且蚀刻箱的一侧设置有控制台，而且蚀刻箱的内部设置有蚀刻托板；驱动电机，安装在所述蚀刻箱的背面，且驱动电机的输出端...
该专利属于深圳市比邻芯科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市比邻芯科技有限责任公司授权不得商用。

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