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本实用新型公开了一种硅片表面清洁装置，包括：装置本体，装置本体的内侧中部水平安装有固定机构，固定机构的两侧分别安装有清洁机构，清洁机构包括清洁箱、限位杆和螺杆，螺杆和限位杆水平设置在装置本体的内部且端部与装置本体转动连接，清洁箱的表面开设有...
该专利属于无锡矽晶半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡矽晶半导体科技有限公司授权不得商用。

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