一种硅片表面清洁装置制造方法及图纸

技术编号:33378029 阅读:13 留言:0更新日期:2022-05-11 22:46
本实用新型专利技术公开了一种硅片表面清洁装置,包括:装置本体,装置本体的内侧中部水平安装有固定机构,固定机构的两侧分别安装有清洁机构,清洁机构包括清洁箱、限位杆和螺杆,螺杆和限位杆水平设置在装置本体的内部且端部与装置本体转动连接,清洁箱的表面开设有通孔且通过通孔分别与螺杆和限位杆连接,且与螺杆连接的通孔内部设置有内螺纹。本实用新型专利技术将硅片夹持在固定机构中,并通过驱动电机带动螺杆转动,从而同时驱动两个清洁机构进行水平移动,并且配合喷头喷出清洁液来将硅片表面打湿,清洁电机带动清洁盘转动,从而通过刷毛来对硅片表面进行清洁,从硅片两面同时清洁,清洁效率高,且清洁的效果佳。且清洁的效果佳。且清洁的效果佳。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片表面清洁装置


[0001]本技术涉及硅片清洁装置
,更具体为一种硅片表面清洁装置。

技术介绍

[0002]目前在太阳能电池片的生产过程中,采用对硅片表面进行吹气的操作来去除硅片表面的杂质,但是,有些杂质并不能被有效的吹走,这些杂质残留在硅片表面,就会影响后续的使用。也可对硅片进行刷洗或擦洗。
[0003]目前,现有的硅片清洁装置,对硅片单面清洁,且在单面清洁完成后将硅片翻转,再对另一面进行清洁,清洁的效率低。为此,需要设计一个新的方案给予改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种硅片表面清洁装置,解决了现有的硅片清洁装置,对硅片单面清洁,且在单面清洁完成后将硅片翻转,再对另一面进行清洁,清洁的效率低的问题,满足实际使用需求。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种硅片表面清洁装置,包括:装置本体,所述装置本体的内侧中部水平安装有固定机构,所述固定机构的两侧分别安装有清洁机构,所述清洁机构包括清洁箱、限位杆和螺杆,所述螺杆和限位杆水平设置在装置本体的内部且端部与装置本体转动连接,所述清洁箱的表面开设有通孔且通过通孔分别与螺杆和限位杆连接,且与螺杆连接的通孔内部设置有内螺纹;
[0006]所述清洁箱的表面中部向内凹陷并连接有清洁电机,所述清洁电机的动力输出端上安装有清洁盘,所述清洁盘的表面设置有刷毛且刷毛的端部与固定机构表面连接。
[0007]作为本技术的一种优选方式,所述装置本体的外壁上端安装有驱动电机,所述驱动电机的动力输出端与固定机构上方的螺杆连接,且两个螺杆的末端均延伸至装置本体外侧壁连接有传动轮,两个所述传动轮采用传动带连接。
[0008]作为本技术的一种优选方式,所述固定机构包括两个固定板和安装在两个固定板之间的底盒和盒盖,所述底盒和盒盖采用铰链转动连接,且底盒和盒盖的表面均开设有安装槽,所述安装槽的内壁一侧固定有挡板,所述固定板与装置本体的内壁连接。
[0009]作为本技术的一种优选方式,所述装置本体的内部形成有储液箱,所述储液箱的顶部安装有过滤网,储液箱的内部固定有水泵。
[0010]作为本技术的一种优选方式,所述水泵的动力输出端上安装有连接管,所述连接管呈T型结构且一端竖直向上延伸、另一端向左侧水平延伸并固定有导液管,所述导液管呈冂字形结构且由装置本体外侧向上延伸,所述导液管和连接管的上端均安装伸缩软管,所述伸缩软管的末端分别与两个清洁箱连接。
[0011]作为本技术的一种优选方式,所述清洁箱的内部开设有与伸缩软管连通的导液腔,清洁箱的端部固定有喷头。
[0012]与现有技术相比,本技术的有益效果如下:
[0013]本技术,将硅片夹持在固定机构中,并通过驱动电机带动螺杆转动,从而同时驱动两个清洁机构进行水平移动,并且配合喷头喷出清洁液来将硅片表面打湿,清洁电机带动清洁盘转动,从而通过刷毛来对硅片表面进行清洁,从硅片两面同时清洁,清洁效率高,且清洁的效果佳。
附图说明
[0014]图1为本技术所述硅片表面清洁装置的外部结构图;
[0015]图2为本技术所述硅片表面清洁装置的正式图;
[0016]图3为本技术固定机构的结构图;
[0017]图4为本技术所述清洁箱的结构图。
[0018]图中:1、装置本体;2、驱动电机;3、导液管;4、清洁箱;5、储液箱;6、限位杆;7、固定机构;8、螺杆;9、传动带;10、传动轮;11、伸缩软管;12、清洁盘;13、清洁电机;14、过滤网;15、水泵;16、连接管;17、底盒;18、固定板;19、盒盖;20、安装槽;21、挡板;22、通孔;23、喷头;24、导液腔。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1

4,本技术提供一种技术方案:一种硅片表面清洁装置,包括:装置本体1,装置本体1的内侧中部水平安装有固定机构7,固定机构7的两侧分别安装有清洁机构,通过清洁机构来对固定机构7两面进行清洁,清洁机构包括清洁箱4、限位杆6和螺杆8,螺杆8和限位杆6水平设置在装置本体1的内部且端部与装置本体1转动连接,清洁箱4的表面开设有通孔22且通过通孔22分别与螺杆8和限位杆6连接,且与螺杆8连接的通孔22内部设置有内螺纹,螺杆8转动后带动清洁箱4进行水平移动;清洁箱4的表面中部向内凹陷并连接有清洁电机13,清洁电机13的动力输出端上安装有清洁盘12,清洁盘12的表面设置有刷毛且刷毛的端部与固定机构7表面连接,清洁箱4在移动的过程中通过清洁电机13带动清洁盘12转动,通过刷毛来对固定机构7表面进行清洁。
[0021]进一步改进地,装置本体1的外壁上端安装有驱动电机2,驱动电机2的动力输出端与固定机构7上方的螺杆8连接,且两个螺杆8的末端均延伸至装置本体1外侧壁连接有传动轮10,两个传动轮10采用传动带9连接,驱动电机2带动一侧螺杆8转动,同时通过传动轮10和传动带9向另一个螺杆8传动,同时驱动两个螺杆8。
[0022]进一步改进地,固定机构7包括两个固定板18和安装在两个固定板18之间的底盒17和盒盖19,底盒17和盒盖19采用铰链转动连接,且底盒17和盒盖19的表面均开设有安装槽20,安装槽20的内壁一侧固定有挡板21,固定板18与装置本体1的内壁连接,盒盖19翻开后可以将硅片放置在底盒17的安装槽20中,然后盒盖19盖在底盒17上,通过挡板21来对硅片进行限位。
[0023]进一步改进地,装置本体1的内部形成有储液箱5,储液箱5的顶部安装有过滤网
14,过滤网14对回液进行过滤,储液箱5的内部固定有水泵15,水泵15将储液箱5中的清洁液抽出。水泵15的动力输出端上安装有连接管16,连接管16呈T型结构且一端竖直向上延伸、另一端向左侧水平延伸并固定有导液管3,导液管3呈冂字形结构且由装置本体1外侧向上延伸,导液管3和连接管16的上端均安装伸缩软管11,伸缩软管11的末端分别与两个清洁箱4连接,通过伸缩软管11、导液管3和连接管16来将液体导入到两个清洁箱4内。
[0024]具体地,清洁箱4的内部开设有与伸缩软管11连通的导液腔24,清洁箱4的端部固定有喷头23,通过喷头23将液体喷出。
[0025]本技术在使用时,盒盖19翻开后可以将硅片放置在底盒17的安装槽20中,然后盒盖19盖在底盒17上,并通过驱动电机2带动螺杆8转动,从而同时驱动两个清洁机构进行水平移动,并且配合喷头23喷出清洁液来将硅片表面打湿,清洁电机13带动清洁盘12转动,从而通过刷毛来对硅片表面进行清洁,从硅片两面同时清洁本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片表面清洁装置,包括:装置本体(1),其特征在于:所述装置本体(1)的内侧中部水平安装有固定机构(7),所述固定机构(7)的两侧分别安装有清洁机构,所述清洁机构包括清洁箱(4)、限位杆(6)和螺杆(8),所述螺杆(8)和限位杆(6)水平设置在装置本体(1)的内部且端部与装置本体(1)转动连接,所述清洁箱(4)的表面开设有通孔(22)且通过通孔(22)分别与螺杆(8)和限位杆(6)连接,且与螺杆(8)连接的通孔(22)内部设置有内螺纹;所述清洁箱(4)的表面中部向内凹陷并连接有清洁电机(13),所述清洁电机(13)的动力输出端上安装有清洁盘(12),所述清洁盘(12)的表面设置有刷毛且刷毛的端部与固定机构(7)表面连接。2.根据权利要求1所述的一种硅片表面清洁装置,其特征在于:所述装置本体(1)的外壁上端安装有驱动电机(2),所述驱动电机(2)的动力输出端与固定机构(7)上方的螺杆(8)连接,且两个螺杆(8)的末端均延伸至装置本体(1)外侧壁连接有传动轮(10),两个所述传动轮(10)采用传动带(9)连接。3.根据权利要求1所述的一种硅片表面清洁装置,其特征在于:所述固定机构(7)包括两个...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘磊王小波郑强
申请(专利权)人:无锡矽晶半导体科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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