一种硅片表面清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片表面清洁装置，包括：装置本体，装置本体的内侧中部水平安装有固定机构，固定机构的两侧分别安装有清洁机构，清洁机构包括清洁箱、限位杆和螺杆，螺杆和限位杆水平设置在装置本体的内部且端部与装置本体转动连接，清洁箱的表面开设有通孔且通过通孔分别与螺杆和限位杆连接，且与螺杆连接的通孔内部设置有内螺纹。本实用新型专利技术将硅片夹持在固定机构中，并通过驱动电机带动螺杆转动，从而同时驱动两个清洁机构进行水平移动，并且配合喷头喷出清洁液来将硅片表面打湿，清洁电机带动清洁盘转动，从而通过刷毛来对硅片表面进行清洁，从硅片两面同时清洁，清洁效率高，且清洁的效果佳。且清洁的效果佳。且清洁的效果佳。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片表面清洁装置


[0001]本技术涉及硅片清洁装置
，更具体为一种硅片表面清洁装置。

技术介绍

[0002]目前在太阳能电池片的生产过程中，采用对硅片表面进行吹气的操作来去除硅片表面的杂质，但是，有些杂质并不能被有效的吹走，这些杂质残留在硅片表面，就会影响后续的使用。也可对硅片进行刷洗或擦洗。
[0003]目前，现有的硅片清洁装置，对硅片单面清洁，且在单面清洁完成后将硅片翻转，再对另一面进行清洁，清洁的效率低。为此，需要设计一个新的方案给予改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种硅片表面清洁装置，解决了现有的硅片清洁装置，对硅片单面清洁，且在单面清洁完成后将硅片翻转，再对另一面进行清洁，清洁的效率低的问题，满足实际使用需求。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片表面清洁装置，包括：装置本体，所述装置本体的内侧中部水平安装有固定机构，所述固定机构的两侧分别安装有清洁机构，所述清洁机构包括清洁箱、限位杆和螺杆，所述螺杆和限位杆水平设置在装置本体的内部且端部与装置本体转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片表面清洁装置，包括：装置本体（1），其特征在于：所述装置本体（1）的内侧中部水平安装有固定机构（7），所述固定机构（7）的两侧分别安装有清洁机构，所述清洁机构包括清洁箱（4）、限位杆（6）和螺杆（8），所述螺杆（8）和限位杆（6）水平设置在装置本体（1）的内部且端部与装置本体（1）转动连接，所述清洁箱（4）的表面开设有通孔（22）且通过通孔（22）分别与螺杆（8）和限位杆（6）连接，且与螺杆（8）连接的通孔（22）内部设置有内螺纹；所述清洁箱（4）的表面中部向内凹陷并连接有清洁电机（13），所述清洁电机（13）的动力输出端上安装有清洁盘（12），所述清洁盘（12）的表面设置有刷毛且刷毛的端部与固定机构（7）表面连接。2.根据权利要求1所述的一种硅片表面清洁装置，其特征在于：所述装置本体（1）的外壁上端安装有驱动电机（2），所述驱动电机（2）的动力输出端与固定机构（7）上方的螺杆（8）连接，且两个螺杆（8）的末端均延伸至装置本体（1）外侧壁连接有传动轮（10），两个所述传动轮（10）采用传动带（9）连接。3.根据权利要求1所述的一种硅片表面清洁装置，其特征在于：所述固定机构（7）包括两个...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘磊，王小波，郑强，
申请(专利权)人：无锡矽晶半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：