下载一种高压快恢复二极管结构及制造方法的技术资料

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本发明公开了一种高压快恢复二极管结构及制造方法,克服了现有技术中工艺精度及退火时间控制难度大,参数一致性差等缺点。本发明所述制造方法,在PN结底部注入并退火形成间隔的P+区域,屏蔽了加反向电压时主结的电场,在P+的间隔区域上方交替刻蚀阳极的...
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