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本实用新型公开了一种具有保护功能的晶圆加工装置，涉及晶圆加工技术领域，为解决现有的晶圆在加工时需要进行切割，切割完毕后容易有粉尘和冷却液粘在晶圆上端，容易导致晶圆污染，影响晶圆质量的问题。所述主体支架上端的一侧安装有上网板，所述上网板下端的...
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