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红外成像系统探测器封装杜瓦多工位检漏系统及方法技术方案
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文档序号:33375056
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本发明公开了一种红外成像系统探测器封装杜瓦多工位检漏系统及方法。本发明利用真空标准小漏孔实现了探测器封装杜瓦的密封性的精确检查,采用比对法能够筛查出漏率范围位于10
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该专利属于兰州空间技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。
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