下载一种单晶硅生产用增加投料量的装置及其使用方法的技术资料

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本发明公开了一种单晶硅生产用增加投料量的装置及其使用方法,涉及单晶硅制造技术领域。本发明包括埚邦组件、埚拖组件和石英埚,埚邦组件安装在埚拖组件的上方,埚邦组件包括有埚邦主体、埚底和第一连接卡条,埚邦主体内侧的底端固定有埚底,埚底的中部开设有...
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