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本实用新型公开了一种晶圆载具，涉及晶圆载具领域，包括两个支撑架，两个所述支撑架顶部之间固定连接有顶板，顶板顶部中间固定连接有上托板，上托板左端与左侧所述支撑架固定连接，上托板右端与右侧所述支撑架固定连接，两个所述支撑架底部之间固定连接有横板...
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