下载用于暗场;相衬和衰减干涉成像系统的探测器的技术资料

文档序号:33367430

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本发明涉及一种用于暗场和/或相衬干涉成像系统的探测器(10)。探测器包括多个像素(50)、多个第一探测器阵列(20)、多个第二探测器阵列(30)和处理单元(40)。多个像素以二维图案被布置。每个像素包括第一探测器阵列和第二探测器阵列。每个第...
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