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本实用新型公开了一种芯片清洗用干燥装置，包括柜体，在所述柜体内部设置有芯片收纳盒，在所述柜体内设置有两道干燥系统，其中一道干燥系统为微热系统，包括设置在柜体内部的加热盘管，另一道干燥系统为干燥热风循环系统，其包括连通柜体上方内外的热风管道、...
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