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一种取放晶圆片的叉手装置，包括：可同步水平摆动以使晶圆叉手直线水平移动的第一臂、第二臂和固定座，所述第一臂的转动中心位于其后端，所述第二臂的后端转动设于所述第一臂的前端，所述固定座转动设于所述第二臂的前端；晶圆叉手，所述晶圆叉手水平布置，其...
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