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本发明公开了一种提高外延用衬底单晶氧沉淀析出缺陷系统及控制方法，提高缺陷系统包括隔离箱体，隔离箱体顶部的中间对称设置有自动润滑机构，外壳的一侧固定连接有第二电机，蜗杆的表面和第二电机的输出端均固定套接有锥齿轮，套筒的内腔固定套接有套环，套环...
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