下载芯片转移装置和芯片转移方法的技术资料

文档序号:33351352

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本申请提供一种芯片转移装置和芯片转移方法;该芯片转移装置通过使基板载台包括第一基板载台和第二基板载台,且第一基板载台和第二基板载台为活动构件,转移机构包括至少两个转塔结构,使得对于不同的基板,可以同步采用不同的转塔结构进行芯片的转移,对于大...
该专利属于TCL华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过TCL华星光电技术有限公司授权不得商用。

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