下载一种适用于电镀电池片正表面激光开槽方法的技术资料

文档序号:33351340

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本发明提供一种适用于电镀电池片正表面激光开槽方法,包括:对P型晶体硅基体的正表面做制绒处理,背表面做抛光处理;在P型晶体硅基体的正表面生长一层氧化硅层,然后在氧化硅层上沉积一层非晶硅层并对其进行磷掺杂,随后进行退火,得到掺杂磷的多晶硅层;去...
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