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一种适用于高功率激光光路的高真空空间的内限位开关，包括外壳、垫块、限位电极接触片、弹簧、限位电极按钮和盖板。本发明具有密封性强、结构简洁、体积小巧、定位精度高的特点，避免了普通限位对真空环境的影响及真空环境对限位开关自身的损坏，可实现对真空...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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