高真空空间内的限位开关制造技术

一种适用于高功率激光光路的高真空空间的内限位开关，包括外壳、垫块、限位电极接触片、弹簧、限位电极按钮和盖板。本发明专利技术具有密封性强、结构简洁、体积小巧、定位精度高的特点，避免了普通限位对真空环境的影响及真空环境对限位开关自身的损坏，可实现对真空内运动结构的安全、高效调整及准确定位。高效调整及准确定位。高效调整及准确定位。

【技术实现步骤摘要】
高真空空间内的限位开关


[0001]本专利技术属于高功率激光领域，一种适用于高功率激光光路中的高真空空间内的限位开关。

技术介绍

[0002]运动机构是大型惯性约束聚变激光装置不可或缺的重要组成部分，是惯性约束聚变高效、精密运行的重要保证。获得运动机构的运动状态不仅是器件安全的保障，同时满足器件的调试需求，在大型惯性约束聚变激光装置中存在大量的在高真空状态下工作的运动机构，普通限位开关不仅会造成真空环境污染影响真空度同时杂散光也会使限位开关受损，市面上的真空限位不仅价格昂贵，使用过程会存在裸露焊接点问题同时在真空抽放过程中部分真空限位开关还存在着吸附问题，导致真空限位开关失效，需要开真空维修等问题，不仅影响效率，还存在安全隐患。
[0003]随着激光聚变技术的迅速发展、光束口径和光路数急剧增多、光路长度和元器件数目成倍增长，对运动系统的定位精度要求也越来越高，真空中运动机构因其所处的特殊环境对运动及定位机构的要求更为严格，目前真空环境中运动机构的定位仍旧采用普通的限位开关来完成。一方面，这样的限位开关会对真空环境产生影响，长期或大量使用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高真空空间的内限位开关，其特征在于包括外壳(101)、垫块(102)、限位电极接触片(103)、弹簧(104)、限位电极按钮(105)和盖板(106)，所述的限位外壳(101)的顶部有对所述的盖板(106)固定的槽体，在所述的外壳(101)内具有凹槽型的垫块(102)将所述的限位电极接触片(103)固定在所述的外壳(101)内的顶部，所述的限位电极按钮(105)上部的触碰点从所述的外壳(101)的顶部穿出，所述的弹簧(104)的下端固定在所述的垫块(102)的底部凹槽内，该弹簧(104)的上端与所述的限位电极按钮(105)下部的弹簧固定柱连接，从所述的限位电极按钮(105)及限位电极接触片(103)各...

【专利技术属性】
技术研发人员：李红，张海青，林强，樊全堂，刘志刚，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：