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本发明公开了一种激光切割集尘装置及方法，激光切割集尘装置包括：真空腔，所述真空腔具有进气口；流向控制装置，所述流向控制装置设置于所述真空腔，所述流向控制装置能够控制所述进气口的进气方向。在本发明的一个实施例的一个技术效果在于，激光切割的粉尘...
该专利属于青岛歌尔微电子研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛歌尔微电子研究院有限公司授权不得商用。

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