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本发明属于镭射打标机技术领域，尤其涉及一种晶圆定中心装置。本发明通过用于支撑晶圆的底板单元，设置在底板单元上并用于夹持晶圆侧面的侧板单元，设置在侧板单元上并用于夹持晶圆顶面的升降板单元，以及设置在侧板单元上并用于调整升降板单元高度的转盘单元...
该专利属于浙江东尼电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江东尼电子股份有限公司授权不得商用。

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