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本发明涉及一种带有支撑结构的半导体生产加工治具,包括加工台及通过多个支腿与所述加工台固定连接的承接件,所述承接件上安装有输送结构,支撑板,所述通过限位结构安装在所述加工台上,所述支撑板一侧对称安装有两个用于定位的两个支腿,两个所述支腿相对一...该专利属于徐州盛科半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过徐州盛科半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种带有支撑结构的半导体生产加工治具,包括加工台及通过多个支腿与所述加工台固定连接的承接件,所述承接件上安装有输送结构,支撑板,所述通过限位结构安装在所述加工台上,所述支撑板一侧对称安装有两个用于定位的两个支腿,两个所述支腿相对一...