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三维存储器器件及其制造方法技术
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文档序号:33344004
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本发明提供了一种三维存储器器件及其制造方法。其中,三维存储器器件包括:设置在第一衬底上的存储器件;设置在第二衬底上外围器件;一个或多个互连层,形成在所述存储器件以及所述外围器件之间;位于所述存储器件外围的隔离环;设置在所述第一衬底上,且位于...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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