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树脂组合物、树脂组合物膜、固化膜、使用了它们的中空结构体及半导体装置制造方法及图纸
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文档序号:33343075
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为了提供图案加工性、膜强度优异的树脂组合物、树脂组合物膜和使用了它们的半导体装置,本发明提供一种树脂组合物,其特征在于,是含有(A)高分子化合物、(B)阳离子聚合性化合物、和(C)阳离子聚合引发剂的树脂组合物,上述(A)高分子化合物的分子链...
该专利属于东丽株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东丽株式会社授权不得商用。
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