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本申请涉及包括具有可调谐折射率的材料的边缘耦合器,揭示了包括边缘耦合器的结构以及制造包括边缘耦合器的结构的方法。该边缘耦合器包括波导芯,该波导芯具有邻近衬底的边缘终止的端部表面。该波导芯包含的材料具有第一状态以及第二状态,该第一状态具有响应...该专利属于格芯(美国)集成电路科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格芯(美国)集成电路科技有限公司授权不得商用。
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