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本发明构思提供一种用于处理待处理物体的表面的方法，其中设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中且被污染的部件作为待处理物体。在实施例中，该表面处理方法包括：在其中设置有前述物体的气氛中形成真空且通过第一粒子与物体的表面上的污染物的碰撞以超音速速...
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