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格芯美国集成电路科技有限公司
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具有隔离吸收器的多模光波导结构制造技术
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下载具有隔离吸收器的多模光波导结构的技术资料
文档序号:33341772
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本公开涉及半导体结构,更具体地涉及具有隔离吸收器的多模光波导结构和制造方法。该结构包括:波导结构,其包括锥形段;以及至少一个隔离波导吸收器,其沿波导结构的长度邻近波导结构。结构。结构。
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该专利属于格芯(美国)集成电路科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格芯(美国)集成电路科技有限公司授权不得商用。
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