下载掩模、掩模制造方法及掩模组件的技术资料

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在此公开了一种掩模、掩模组件和制造掩模的方法。所述掩模包括:聚合物膜,在其中限定有至少一个单元区域和至少一个外围区域,所述至少一个外围区域围绕所述至少一个单元区域;导电层,设置在聚合物膜上并且包括金属;无机层,设置在聚合物膜和导电层之间并且...
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