下载半导体装置的技术资料

文档序号:33341433

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目的在于提供能够降低接通电压的技术。半导体装置具有:载流子积蓄层;作为上层多晶硅的上层有源部,其配置于沿着将载流子积蓄层贯通的沟槽的上部的内壁的第1绝缘膜之上,与栅极电极连接;以及下层多晶硅,其配置于沿着沟槽的下部的内壁的第2绝缘膜之上,在...
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