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本发明提供一种系统匹配网络，其具有非线性负载且由在第一频率操作的第一射频电源供应以及在第二频率操作的第二射频电源供应来供电。匹配网络包含第一匹配网络部分，其用于在第一电源供应与负载之间提供阻抗匹配。匹配网络还包含第二匹配网络部分，其用于在第...
该专利属于MKS仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过MKS仪器有限公司授权不得商用。

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