下载半导体结构的形成方法及半导体结构的技术资料

文档序号:33338363

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本发明实施例提供一种半导体结构的形成方法及半导体结构,包括:提供基底,基底包括中心区和位于中心区第一方向边缘的相对两外侧的虚置区,中心区包括成型区以及位于成型区第二方向边缘的相对两外侧的裁剪区;在基底上形成多个间隔设置的芯柱;在基底上形成环...
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