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一种集成电路制造用气体钢瓶接头自锁装置，包括壳体、弹簧、滑块、封头、固定装置和进气口，所述壳体具有容纳腔，于所述容纳腔内设置弹簧和滑块，于所述壳体开口端密封连接封头，所述封头上设置有避让口，所述壳体、所述容纳腔、所述弹簧、所述滑块和所述封头...
该专利属于上海精泰机电系统工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精泰机电系统工程有限公司授权不得商用。

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