一种集成电路制造用气体钢瓶接头自锁装置制造方法及图纸

一种集成电路制造用气体钢瓶接头自锁装置，包括壳体、弹簧、滑块、封头、固定装置和进气口，所述壳体具有容纳腔，于所述容纳腔内设置弹簧和滑块，于所述壳体开口端密封连接封头，所述封头上设置有避让口，所述壳体、所述容纳腔、所述弹簧、所述滑块和所述封头具有相对应的周向形状，所述避让口的形状和所述滑块的周向形状相对应，于所述壳体的外侧设置固定装置和进气口。该自锁装置通过设置于壳体外侧的固定装置安装于特气供应管道上，避免自锁装置的安装必须先于特气供应管道的连接，同时避免因自锁装置的安装导致的特气供应管道损伤的意外，减少特气供应管道的拆除工作，进一步降低了发生特气泄漏的概率。了发生特气泄漏的概率。了发生特气泄漏的概率。

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路制造用气体钢瓶接头自锁装置


[0001]本技术涉及特种气体容纳钢瓶领域，尤其涉及一种集成电路制造用气体钢瓶接头自锁装置。

技术介绍

[0002]气体应用系统工程行业虽然是一个小众行业，但它在现代工业中是不可或缺的一部分，其使用范围覆盖集成电路芯片、液晶显示屏、光纤、太阳能电池、生物医药、食品安全、实验科研等多个高新技术的制造领域。特气(特种气体)系统是气体应用系统中的一个非常重要的组成部分，特气大多是易燃易爆、有毒、有腐蚀性、纯度高(超过99.999％)的气体，用于特定需求，如集成电路芯片的制造。特气大多是危险性气体，如高纯氯气Cl2具有剧毒性，人体吸入过量氯气会引起呼吸道损伤，严重时会引起急性肺水肿，抢救不及时或不当可能会造成窒息死亡。
[0003]因为特气的使用量很大，工厂的厂务系统需要频繁更换气瓶，在气瓶更换过程中，必须拆卸气瓶口上的管接头。如果气瓶还在正常供气过程中，操作人员误判断以为需要更换气瓶而拧下气瓶口管接头处的螺母，会导致气瓶内气体泄露，引发安全事故。
[0004]因此，为了防止特气泄露给操作人员带来本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路制造用气体钢瓶接头自锁装置，包括壳体、弹簧、滑块、封头、固定装置和进气口，其特征在于，所述壳体具有容纳腔，于所述容纳腔内设置弹簧和滑块，于所述壳体开口端密封连接封头，所述封头上设置有避让口，所述壳体、所述容纳腔、所述弹簧、所述滑块和所述封头具有相对应的周向形状，所述避让口的形状和所述滑块的周向形状相对应，于所述壳体的外侧设置固定装置和进气口。2.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用气体钢瓶接头自锁装置，其特征在于，所述壳体、所述容纳腔、所述弹簧、所述滑块和所述封头的周向形状为带弧度的腰形结构。3.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用气体钢瓶接头自锁装置，其特征在于，所述滑块远离所述封头的一端包括一组间隔设置的限位环台，所述限位环台的外侧壁和所述容纳腔的内侧壁滑动接触，于所述限位环台间设置密封圈。4.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用气体钢瓶接头自锁装置，其特征在于，所述封头和所述壳体用于与所述封头对接的一端之间设置有垫片和密封圈，所述封头、所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李鹏，
申请(专利权)人：上海精泰机电系统工程有限公司，
类型：新型
国别省市：