温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种检查版图中划片槽图形放置的方法，包括：步骤一、确定版图中单体的大小。步骤二、选定一个需要进行搜索的单体，将单体的搜索区域范围扩展到具有1/2曝光区域尺寸的区域。步骤三、检查所选定的单体是否为重复单体，包括：在版图中检索出会和...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。